平面波导耦合系列
Form.ai平面波导耦合系列现已标准化4款,分别适用于Spliter,PLC、DWDM,光栅垂直耦合,光栅垂直耦合(无源工艺)等。
型号 | 自由度配置 | 适用器件 |
FA-WGC301 | 左:X,Y,Z,θX,Θy 右:X,Y,Z,θX,θY,θZ | Spliter |
FA-WGC302 | 左:X,Y,Z,θX,θY,θZ 右:X,Y,Z,θX,θY,θZ | PLC、DWDM |
FA-WGC303 | 左:X,Y,Z,θX,θY,θZ | 光栅垂直耦合 |
FA-WGC303V | 左:X,Y,Z,θX,θY,θZ | 光栅垂直耦合(无源工艺) |
FA-WGC301 | FA-WGC302 | FA-WGC303 | FA-WGC303V | |
左调整架 | 5轴 | 6轴 | 6轴 | 6轴 |
右调整架 | 6轴 | 6轴 | - | - |
中间载物台 | 固定座+真空吸附 | 固定座+真空吸附 | 固定座+真空吸附 | 固定座+真空吸附 |
夹具配置 | 光纤夹具+FA夹具+接触感知夹具 | FA夹具+接触感知夹具 | 垂直光纤夹具 | 垂直光纤夹具 |
视觉观察 | 2路 | 2路 | 2路 | 1路 |
视觉测量 | - | - | - | 2路 |
UV固化设备 | 选配 | 选配 | 选配 | 选配 |
点胶设备 | 选配 | 选配 | 选配 | 选配 |
功率反馈检测 | 标配 | 标配 | 标配 | - |
系统参数
FA-WGC301 | FA-WGC302 | FA-WGC303 | FA-WGC303V | ||||
左调整架 | X轴 | 行程(mm) | 20 | 20 | 20 | 20 | |
分辨率(μm) | 0.5 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |||
Y轴 | 行程(mm) | 20 | 20 | 20 | 20 | ||
分辨率(μm) | 0.5 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |||
Z轴 | 行程(mm) | 30 | 30 | 30 | 30 | ||
分辨率(μm) | 0.5 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |||
θX轴 | 行程(°) | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ||
分辨率(°) | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | |||
θY轴 | 行程(°) | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ||
分辨率(°) | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | |||
θZ轴 | 行程(°) | - | ±5 | ±5 | ±5 | ||
分辨率(°) | - | 0.003 | 0.003 | 0.003 | |||
右调整架 | X轴 | 行程(mm) | 20 | 20 | - | - | |
分辨率(μm) | 0.1 | 0.1 | - | - | |||
Y轴 | 行程(mm) | 20 | 20 | - | - | ||
分辨率(μm) | 0.1 | 0.1 | - | - | |||
Z轴 | 行程(mm) | 30 | 30 | - | - | ||
分辨率(μm) | 0.1 | 0.1 | - | - | |||
θX轴 | 行程(°) | ±5 | ±5 | - | - | ||
分辨率(°) | 0.003 | 0.003 | - | - | |||
θY轴 | 行程(°) | ±5 | ±5 | - | - | ||
分辨率(°) | 0.003 | 0.003 | - | - | |||
θZ轴 | 行程(°) | ±5 | ±5 | - | - | ||
分辨率(°) | 0.003 | 0.003 | - | - | |||
视觉测量 | 线性测量 | 分辨率(μm) | - | - | - | 0.3 | |
重复检测精度 (μm) | - | - | - | 1 | |||
角度测量 | 分辨率(°) | - | - | - | 0.01 | ||
重复检测精度(°) | - | - | - | 0.02 | |||
视觉观察 | 工作距离(mm) | 86 | 86 | 86 | 86 | ||
视场大小(mm×mm) | 0.9×0.7~8×6 | 0.9×0.7~8×6 | 0.9×0.7~8×6 | 0.9×0.7~8×6 | |||
放大倍数 | 0.6~5.0 | 0.6~5.0 | 0.6~5.0 | 0.6~5.0 | |||
UV固化设备 | 波长范围(nm) | 365~405 | 365~405 | 365~405 | 365~405 | ||
峰值照射强度(mw/cm2) | 400~3200 | 400~3200 | 400~3200 | 400~3200 | |||
功率调整范围 | 0~100% | 0~100% | 0~100% | 0~100% | |||
控制方式 | IO控制 | IO控制 | IO控制 | IO控制 | |||
点胶设备 | 点胶时间(s) | 0.001~9.999 | 0.001~9.999 | 0.001~9.999 | 0.001~9.999 | ||
精确度 | ±0.5% | ±0.5% | ±0.5% | ±0.5% | |||
最小滴量(ml) | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |||
基础规格 | 电源(v) | AC220 | AC220 | AC220 | AC220 | ||
尺寸(m×m×m) | 0.8×0.6×1.5 | 0.8×0.6×1.5 | 0.8×0.6×1.5 | 0.8×0.6×1.5 | |||
重量(kg) | 170 | 170 | 170 | 170 |