主要参数:运动方向:X、Y移动范围:X、Y:1000mm,最小分辨率:X、Y:1um, 最小读数:X、Y:1um,单轴精度:±5um,最大速度:25mm/s承载:30kg
SD7 1米电动二维光栅反馈平移台
特制大型二维电动平移台,带光栅尺反馈,精度高,稳定性好。