主要参数:

移动方向:X(平移)、Z(升降),θX(弧摆)、θZ(旋转)
调节范围::X:50mm、Z:25mm,  θX:±10°、θZ:±2°
最小分辨率:X:2um、Z:1um、 θX:0.005°、θZ:0.002°

ST7 四维精密调整台

      特制四维手动调整架,台面上可以安装各种器件进行手动调节。该结构由X平移、Z升降以及θX弧摆和θZ旋转组成,结构稳定,承载能力大。