主要参数：

下压板：X、Y(二维平移)，θZ(旋转)
        调节范围：X、Y:50mm,  θZ:360°
    整步分辨率：X、Y:5um,  θZ:0.01°
重复定位精度：X、Y:2um,  θZ:0.02°

上压板：Z向升降
         调节范围：Z:150mm
     整步分辨率：Z: 10um

 重复定位精度：Z: 4um

SJ15 三维上下对准调节电子材料压模装置

      此装置适用于电子材料压膜等生产工艺，底座是一级精度大理石工作平台，基础强大，平整度好。工作台面是一组三维电动大承载结构，可以调整下膜片的水平位置和角度。上方是电动一维压膜机构，安装有上压板夹具和一套真空吸具，可以将膜片平稳吸住进行压膜工作。整套装置精度高、使用方便、稳定性好。