主要参数：

移动方向：X、Y(下方工作台)，Z(粗微调升降装置)

调节范围：X、Y：50mm， Z：快调：200mm，精调：75mm

最小分辨率：X、Y、Z：2um

最小读数：X、Y：0.005mm，  Z：0.01mm

SJ1 三维微晶片检测调整装置

      该装置用于调整、检测微晶片或者其他微小物体，装置主体的升降部分采用粗微调结合的手动调节机构，升降操作方便。前端装有环形灯，用于给下方的工作台面照明。下方是二维手动调节的工作载物台，用于安放被检测物体并且进行精密二维对准。整套装置使用方便，调节精度高，可以广泛用于实验室、检验检测等场合。