左右对称电动部分主要参数：

X、Y行程：25mm，分辨率：0.5um

Z行程：10mm，分辨率:0.5um

θX、θZ(弧摆)范围：±10°，分辨率：0.002°

θY(旋转)范围：±360°，分辨率：0.002°

手动CCD调节架主要参数：

X、Y行程：13mm，分辨率：1um

Z行程：10mm，分辨率：1um

SO5 电动多维左右对称自动耦合系统

      电动多维左右对称自动耦合系统是一套复杂的精密自动调节对准机构。左右对称的电动机构是一对六维电动组合架，中间配备工装夹具，用于安装客户的耦合器件。

      上方是一个三维手动调节机构，实现精密直线运动，调整CCD的位置，通过CCD监测的反馈，实现系统的自动耦合，大大提高耦合效率。