电动部分主要参数：

X、Y行程：25mm，分辨率：0.5um

Z行程：10mm，分辨率：0.5um

θX(弧摆)范围：±10°，分辨率：0.002°

θZ(旋转)范围：±360°，分辨率：0.002°

手动部分主要参数：

X、Y行程：13mm，分辨率：1um

Z行程：10mm，分辨率：1um

SO4 电动多维光学耦合机构

      电动多维光学耦合机构左侧是电动五维调节机构，上面放置被观测耦合物件，实现器件的三维电动平移和二维弧摆旋转调节运动。右侧是三维手动调节机构，实现精密直线运动，通过上方CCD监测的反馈，实现系统的电动耦合，大大提高耦合效率。