左、右侧六维部分主要参数：

X、Y、Z行程：12.5mm，分辨率：2um；

θX(旋转)范围：360°，分辨率:0.2°；

θY(俯仰)、θZ(偏摆)范围：±2°，分辨率:0.002°

中间二维调节部分参数：

X方向行程：12.5mm，分辨率：2um；

θZ(旋转)范围：360°，分辨率：0.2°

SO2 特制光纤波导耦合台

      光纤波导耦合台左右侧分别是六维光纤调节架，夹持光纤进行准直和偏振；中间是放波导等器件的二维调节台。底部是一个导轨基座，用于大范围调整耦合的距离。