主要参数：

移动方向：θX(俯仰)、θZ(偏摆), X(平移切换)

调节范围：θXθZ：±2°、X：500mm

最小分辨率：θXθZ：0.005°、X：5um

SM24 18路阵列电动镜架

      3×6电动阵列镜架，由控制器调节镜片的俯仰和偏摆角度，操作方便，分辨率高，可在真空中使用该系统。