主要参数：

移动方向：θX(俯仰)、θZ(偏摆), θY(弧摆)

调节范围：θXθZ：±1°、θY：±10°

最小分辨率：θXθZ：0.001°、θY：0.005°

SM22 双镜对称二维电动调整架

      真空中使用的电动双镜片调整架，可以安装300×300mm方镜片，通过电控调整镜片俯仰和偏摆，实现双镜片平行。底部超重载弧摆台调节整体模块的弧摆角度。整体结构稳定，调节精度高，使用方便。