主要参数：

移动方向：XY(直线)、θX(俯仰)、θZ(旋转)

调节范围：XY：50mm、θX：±10°、θZ：360°

最小分辨率：XY：2um、θX：0.005°、θZ：0.005°

SM14 真空用透镜四维调节台

      该四维调节台上部是用于装夹φ210mm透镜的夹具，中间是二维电动角度调节台，用于调整透镜的俯仰和旋转角度。下面是二维直线运动台，其中，一维电动调节前后，一维手动调节左右。这四维调节台如果全部改成电动，可以直接用于真空环境中。