主要参数：

移动方向：X、θXθY(水平调节)、θZ(旋转)

调节范围：X：200mm、θXθY：±1.5°、θZ：360°

最小分辨率：X：1um、θXθY：0.005°、θZ：0.005°

承载：25Kg

SM9 中大口径四维光栅调整架

上部是用于装夹260×420mm的光栅、柱面体或方形镜片的夹具。

中间是手轮操作的二维水平调节台，以及一个360°旋转调节台。

底部的电动平移台带动整体结构前后移动。