主要参数：

移动方向：XY(直线)、θX(俯仰)、θZ(偏转)

调节范围：XY：20mm、θX：±1.5°、θZ：±1.5°

最小分辨率：XY：2um、θX：0.001°、θZ：0.001°

SM6 四维方镜片调整架

装夹方镜片尺寸：250×250×35mm。

四维手动调节，其中二维角度（俯仰和偏转）调节，二维直线调节。

四维调节如果全部改成电动，可直接用于真空环境中。