SM3 大口径三维调整架

装夹610×210×85mm镜片的三维调整架。

上部电动二维角度调节，实现镜片的俯仰和旋转。

底部手动一维平移调节，负责将机构整体前后移动。

主要参数：

移动方向：X(平移)、θY(俯仰)、θZ(旋转)

调节范围：X：60mm，θYθZ：50mrad

最小分辨率：X：5um，θYθZ：1urad