SM1 中口径四维调节架

安装器件（光栅、镜片）尺寸：200×200mm。

手动四维调节，上部是三维角度调节架，底座是一维平移调节台。

主要参数：

移动方向：X、θX(旋转)、θY(俯仰)、θZ(偏摆)

调节范围：X:40mm、θX:±5°、θYθZ：50mrad

最小分辨率：X:5um、θYθZ：5urad