气浮隔振单元HGZV系列
气浮隔振单元HGZV系列，可以直接承载高精度加工设备，无需床身，可嵌入到仪器设备内，吸收高频振动，阻尼可变，快速抑止扰动。同时具有静态承载力大，固有频率低，损耗小，动态响应快，安装简易快捷等特点。主要用于高精度和超高精度加工设备，例如超精密金刚石车床，超精密磨床等，超精密测量设备，例如AFM，扫描电镜，轮廓仪等。
选型表：
产品型号 | 规格尺寸（mm） | 自重（kg） | 单独承载（kg） | 安装孔 | 孔距（mm） |
HGZV-165 | 165X165X70 | 10 | 140 | ∮13x4 | 145 |
HGZV-200 | 200X200X70 | 15 | 450 | ∮13x4 | 175 |
HGZV-260 | 260X260X70 | 23 | 800 | ∮13x4 | 230 |
HGZV-350 | 350X350X70 | 42 | 1800 | ∮13x4 | 320 |
HGZV-400 | 400X400X70 | 53 | 2400 | ∮13x4 | 370 |
固有频率≤2.5Hz | |||||
气浮浮起高度5~20mm | |||||