节约调整光学器件和谐振器时间
过程处理的监控界面友好
在线分析和自动文档编制
数据被可靠的连接和传输到数据库
按照EN-ISO标准可扩展的Beamlux II软件用于光束分析
用于触发和同步操作的单脉冲分辨率
测量过程的高均匀性和长稳定性
该激光光束分析仪可测量激光强度分布，范围包括EUV，UV，VIS和NIR，光斑直径从1µm - 100 mm，可按EN-ISO标准记录和分析光束。
具有适合于分析光斑和光束位置以及用于均匀激光光束特点描述的各种软件工具，可选附件便于协调脉冲激光器和单脉冲的测量。
机械部分采用特殊表面细化、光学部分采用光学增透膜把杂散光减小到最小的优化探测头。
VIS/NIR激光光束分析仪 UV激光光束分析仪
基于激光光束分析仪的“光束检测”的CCD相机，被优化适合于低输出功率的连续和脉冲激光器准直光束分析，大部分VIS/NIR波长范围的激光，可用此系统典型分析，例如Nd:YAG或者半导体激光器通常使用此系统分析。
光束监测包含Beamlux II软件、标准摄像头及附件如中性密度滤光片组合和可快速建立测量的设备，使用这些可选配件，系统也可用于高功率激光束和焦点直径小于10µm的测量。
产品 传感器类型 波长 光束尺寸 功率
基础版光束监测器 CCD2/3 320-1100nm 60µm-5mm <1W
光束监测器 CCD2/3 320-1100nm 60µm-5mm <1W
交货包含：rail、4.5米电缆、PCI卡、SW/驱动程序光盘、中性密度滤光片组
可选配件：PCMCIA、扩展卡、触发电缆、用于高功率的衰减器、ML8010电机控制器、ML1630激光同步装置
典型测量：光斑大小、发散角、近场、远场、光束稳定性、功率、焦散、均匀性
1、基础版光束监测器---基于激光光束质量分析仪的CCD相机
采用ML3743CCD相机的高分辨率光束质量分析仪
采用可广泛应用的BeamLux II软件包
脉冲激光器可触发操作
波长：320 - 1100 nm
功率：<1W
传感器类型：CCD2/3
有效面积：8.97X6.71mm2
分辨率：6.5µm
软件：Beamlux II
光束类型：原始发散光
光斑大小：60µm-5mm
接口：IEEE1394 Firewire
工作距离：17.5mm
宽度：60mm
高度：60mm
长度：60mm
重量：300g
2、光束监测器---基于激光光束质量分析仪的CCD相机
采用ML3743CCD相机的高分辨率光束质量分析仪
采用可广泛应用的BeamLux II高级版软件包
可与脉冲激光器同步
步进电机控制
可通过TCP/IP远程控制
通过ML协议的协议文档
波长：320 - 1100 nm
功率：<1W
传感器类型：CCD2/3
有效面积：8.97X6.71mm2
分辨率：6.5µm
软件：Beamlux II高级版
光束类型：原始发散光
光斑大小：60µm-5mm
接口：IEEE1394 Firewire
工作距离：17.5mm
宽度：60mm
高度：60mm
长度：60mm
重量：300g
3、UV监测器---UV激光光束质量仪
基于ML3745UV传感器CCD
高级版BeamLux II光束质量分析软件
允许脉冲激光器同步
UV中性密度滤光镜组
波长：193 - 1100 nm
功率：<100mW
传感器类型：CCD2/3
有效面积：7.4X7.4mm2
分辨率：7.5µm
软件：Beamlux II高级版
光束类型：原始发散光
光斑大小：74µm-5mm
接口：IEEE1394 Firewire
工作距离：17.5mm
宽度：60mm
高度：60mm
长度：60mm
重量：300g
4、UV监测器K2-UV激光光束质量分析仪
荧光膜CCD传感器
单脉冲分辨率最大300Hz
用于XUV、EUV和UV波长
高级版BeamLux II光束质量分析软件
波长：10 - 1100 nm
功率：<1W
传感器类型：CCD2/3
有效面积：8.9X6.74mm2
分辨率：15µm
软件：Beamlux II高级版
光束类型：原始发散光
光斑大小：65µm-5mm
能量密度：<50mJ/cm2
接口：IEEE1394 Firewire
工作距离：17.5mm
宽度：60mm
高度：60mm
长度：60mm
重量：300g
5、UVM10 -UV激光光束质量分析仪
可用的UV转换器：K2、K6、k7、K8
高级版BeamLux II光束质量分析软件
波长：157 - 308 nm
转换器：可选
功率：<10W
传感器类型：CCD2/3
软件：Beamlux II高级版
光束类型：原始发散光
光斑大小：<56X44mm2
能量密度：<50mJ/cm2
接口：IEEE1394 Firewire
工作距离：根据转换器
6、UVM11 -UV激光光束质量分析仪
可用的UV转换器：K2、K6、k7、K8
高级版BeamLux II光束质量分析软件
内部90º偏转
波长：157 - 308 nm
转换器：可选
功率：<10W
传感器类型：CCD2/3
软件：Beamlux II高级版
光束类型：原始发散光
光斑大小：<56X44mm2
能量密度：<50mJ/cm2
接口：IEEE1394 Firewire
工作距离：根据转换器
7、UVM20 -UV激光光束质量分析仪
可用的UV转换器：K2、K6、k7、K8
高级版BeamLux II光束质量分析软件
带用于中性密度滤光片设置的滑槽
波长：157 - 308 nm
转换器：可选
功率：<10W
传感器类型：CCD2/3
软件：Beamlux II高级版
光束类型：原始发散光
光斑大小：<25X20mm2
能量密度：<50mJ/cm2
接口：Gige
工作距离：根据转换器
宽度：55mm
高度：50mm
长度：239mm
8、UVM21-UV激光光束质量分析仪
可用的UV转换器：K2、K6、k7、K8
高级版BeamLux II光束质量分析软件
带用于中性密度过滤片设置的滑槽
内部90º偏转
波长：157 - 308 nm
转换器：可选
功率：<10W
传感器类型：CCD2/3
软件：Beamlux II高级版
光束类型：原始发散光
光斑大小：<25X20mm2
能量密度：<50mJ/cm2
接口：Gige
工作距离：根据转换器
宽度：55mm
高度：50mm
长度：239mm