3D多光子聚合光刻机是采用飞秒激光多光子聚合MPP技术设计的3D多光子聚合打印机,为用户提供高分辨率3D光刻胶打印方案。

3D多光子聚合光刻机优势

直写分辨率：200nm ~10um

尺寸结构小，适合实验室桌面光刻打印

对光刻胶不挑剔，适合所有商用光刻胶

透明3D结构打印

操作界面友好，易于使用

工作和维护成本低

3D多光子聚合光刻机参数

激光光源参数

激光波长：785nm+/-5nm

平均功率：>120mW

激光脉宽：<100fs

光束质量：TEM00，M2<1.2

纳米位移定位台参数

XYZ行程：60x60x5mm

XYZ精度：+/-300nm

XY分辨率：5nm

XY速度：100mm/s（最大）

聚焦光学部分参数

放大倍数：50X~100X

数值孔径：0.5~1.4

物镜：高性能浸油物镜

软件部分参数

自动或手动对纳米位移定位台控制

控制激光发射

控制激光功率

控制激光脉冲重复频率

激光功率衰减控制

数字或模拟I/O控制

文件格式：DXF，STL,TXT,XML

2D/3D光刻预览窗口方便用户阅览

样品定位检测

样品倾斜或旋转补偿技术