显微光致发光光谱扫描系统是具有显微光致发光扫描mapping功能的显微光致发光光谱仪器,广泛用于显微/宏观PL/RT PLE&EL,PL光致发光成像。

显微光致发光光谱扫描系统测量功能

室温显微光致发光和光致发光扫描mapping

室温显微光致发光激发（吸收）

低温显微光致发光PL

室温厚度测量

显微光致发光光谱扫描系统应用

SiC结构缺陷（如SFs堆垛层错,TDs三角形缺陷）

半导体特性研究和测试（III-V材料）

GaN/ZnO LED晶圆表面分析（表面污染,表面不均匀,反射率和厚度测试）

NIR CCD传感器研发

热电偶器件研发

LED材料研发

TDIPL & IQE测试

III-V材料光致发光分析测试

显微光致发光光谱扫描系统规格参数

探测范围：200-5000nm

系统分辨率：0.045nm@1200gr/mm光栅

CCD分辨率：0.08nm@1800gr/mm 光栅

空间分辨率：1um （其它分辨率可提供）

摄谱仪：1024x256像素格式，最大95%QE,-100摄氏度TE制冷,暗电流0.0005e-/像素/秒

探测器：TE制冷高性能CCD/PMT/光电二极管

激光控制：0.1%~100%（多达6种激光功率水平）

激光激发：深紫外UV~近红外NIR

样品台：XY扫描台行程76mm x 52mm, 重复精度<1um,分辨率：0.1um

视图系统：样品成像，输入光束定位监测，最大1600X数字图像CCD相机IEEE1394接口

物镜：光谱范围200-1700nm, 10X,50x,100X

光斑大小：<1um@100x物镜