产品特点

● 低残留

● 高EUV能量（3.5 MJ）

● 最低耗气量（气体脉冲持续时间：<1 ms）

● 简单目标气体交换

● 桌面系统

技术参数

参数

单位

指标

产品编号


EUV-B-XRAY

工作波长

nm

20nm

脉宽

ns

7

脉冲能量（Xe）

mJ

3.5(4π sr, 2% BW)

转换效率

%

0.45

等离子形状

NA

Ø ~ 300 µm

重复频率

HZ

10


测试数据展示：

tc.pngtc_副本.png


tc1.png

产品应用

● 计量：反射测量、吸收

● 光谱学（nexafs）

● 光学/传感器测试

● EUV损坏调查

● 材料相互作用基础研究

● 水窗显微镜（λ=2..4纳米）