仪器右部为X、Y、Z三位可调和悬臂夹具构成的夹持结构,左下方为X、Y、Z以及二维水平调节结构组成的五维调节台,用于安放、调整被检测物体。
主要参数:
X、Y、Z直线移动单轴调节精度:0.005mm ; 单轴重复定位精度:0.002mm;