飞秒激光(770〜790nm)或YAG激光(1064nm)加工用的高NA无限共轭物镜。
由于设计上校正了可见谱区像差,可以与激光光束同轴观察加工面。
◦物镜工作距离(WD)长,场曲也得到校正,在视场边缘也可以得到自然清晰的观察图像。
◦可以用于同轴观察系统或激光导入光学系统等,是无限远校正的物镜。
◦近红外用物镜(LMPAL-20-NIR/LMPAL-50-NIR),设计前提是LCD的加工,所以,优化的是透过玻璃基板(0.7mm)时特性。
◦也可用于红外光的观察。
◦LMPAL-20-NIR-Y/LMPAL-50-NIR-Y-HR附带了保护玻璃件(玻璃厚度1.8mm)。它可保护物镜免受加工时切屑的影响。而且,它可以简单更换。 ◦此物镜也可用于可见光(532nm)的脉冲激光。532nm波长时的激光损伤阈值(参考值)为0.1J/cm2。(脉宽10ns ,重复频率20Hz)
外形图
透过率波长特性(参考数据)
T:透过率
LMPAL-20-NIR ⇒ PAL-20-NIR(780)-LC07
LMPAL-50-NIR ⇒ PAL-50-NIR(780)-LC07
指标
倍率 | 20倍 |
NA | 0.45 |
工作距离 WD | 空気換算17.2mm |
焦距 f | 10mm |
分辨率 | 0.6μm |
焦深 | ±1.4μm |
瞳径 | φ9mm |
视场 (1/2型) | 0.24×0.32mm |
激光损伤阈值※ | 0.1J/cm2波长780nm |
自重 | 0.34kg |
※激光脉冲宽10ns,重复频率20Hz