可用于真空腔内的小型自动平台。

体积小，不浪费真空腔的空间。


向导

▶在电机部，和极限位置传感器部处，附有1m长的镀有聚四氟乙烯层的电缆，可用于直接连线到真空腔的插头部。

通用指标

■电机/传感器技术指标






电机　类型 5相步进电机　0.75A/相（多摩川精机（株））
电机　型号 TS3664N5（□42mm）
电机　步距角 0.72°
传感器　输出端电气特性 接触式
传感器　信号的含义 常开

■推荐选用的驱动器／控制器型号






驱动器 SG-5M、SG-55M、SG-514MSC、MC-7514PCL
控制器 GSC-01、GSC-02、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04