分别为1轴或3轴压电陶瓷平台用控制器，并内置驱动器。
◦具有数字位移传感器的输入端口，可校正电压陶瓷特有的磁滞回归特性，实现了闭环控制。
◦FINE-503(**)可通过RS232C，GP-IB或USB接口连接计算机，通过计算机发送简单的指令就可以控制平台的定位。
◦ FINE-01γ（**）不仅可以通过RS232C或USB接口接受计算机的控制，还可以直接输入一个模拟控制信号实现同步高速控制。
通用指标
■■主要功能
| 控制器功能 | ○ | |||
| 控制轴数 |
FINE-01γ(**) 1轴 FINE-503(**) 3轴 | |||
| 内置程序控制 | ○ | |||
| 闭环控制 | 数字位移传感器 | |||
■■通用特性
| 电源 | 型号末尾：（CL）AC100V±10％ （UL） AC120V±10％ （CE） AC230V±10％ 50/60Hz | |||
| 消耗功率 | 50VA | |||
| 动作温度 | 10～30℃ | |||
| 保存温度 | -20～60℃ | |||
| 周围湿度 | 20～80％RH | |||
| 外形尺寸（W×H×D） |
FINE-01γ（**) 225×118×250mm FINE-503(**) 270×118×297mm | |||
| 重量 |
FINE-01γ(**) 3.5kg FINE-503(**) 5.3kg | |||
■■计算机接口
| GP-IB |
FINE-01γ(**) － FINE-503(**) ○ | |||
| RS232C | ○ | |||
| USB | ○ | |||
| 模拟信号输入 |
FINE-01γ(**) ○ FINE-503(**) － | |||
■■性能指标
| 坐标显示范围 | ±999,999nm | |||
| 最大设定行程 | ±999,999nm | |||
■■控制指令
| 机械原点复位 | ○ | |||
| 逻辑原点设定 | ○ | |||
| 相对位移驱动 | ○ | |||
| 绝对位置驱动 | ○ | |||
| 操纵杆手动驱动 | ○ | |||
| 运动到预定位置 | － | |||
| 圆弧插补控制 | － | |||
| 直线插补控制 | － | |||
| 驱动开始指令 | ○ | |||
| 减速停止 | － | |||
| 紧急停止 | － | |||
| 速度设定 | ○ | |||
| 电机励磁控制 | － | |||
| 端口输入 | － | |||
| 端口输出 | － | |||