主要参数

型号MPT-6JN/RL050
运动自由度X,Y,Z ;θx,θy,θz
行程范围(μm±20%)50，50，30
转角范围 (mrad±20%)0.6，0.6，1
位移分辨率 (nm)0.6，0.6，1
重复定位精度 (nm)-/50，-/50，-/30
运动方向上刚度(N/μm±20%)50
最大负载 (Kg)5
固有频率 (Hz±20%)1500
工作温度范围 (℃)-20 ～ 80
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开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-2CR0150