主要参数

型号MPT-3JN/RL030
运动自由度Z ,θx,θy
行程范围(μ m±20%)30
转角范围(mrad±20%)0.6,0.6
位移分辨率(nm)3
重复定位精度(nm)-/30
运动方向上刚度(N/μm±20%)2
最大负载(Kg)0.5
固有频率(Hz±20%)500
工作温度范围(℃)-20 ～ 80
模型下载IGS


开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-2CR0150