| |
重复定位精度 34×36.5
主要参数MPT-1SNL080 MPT-1SNL120 MPT-1SNL160 MPT-1SNL400 MPT-1SRL080 MPT-1SRL120 MPT-1SRL160 MPT-1SRL400 运动自由度 X X X X X X X X 行程范围
(μm±10%)80 120 160 400 80 120 160 400 位移分辨率
(nm)8 12 16 40 8 12 16 40
(nm)- - - - 80 120 160 400 运动方向最大推力
(N)30 90 120 8 30 90 120 8 运动方向最大拉力
(N)5 15 20 - 5 15 20 - 运动方向刚度
(N/μm)0.6 0.6 0.6 0.02 0.6 0.6 0.6 0.02 重量
(g±5%)75 100 120 250 75 100 120 250 工作电压
(V)0～150 0～150 0～150 0～150 0～150 0～150 0～150 0～150 工作温度范围
(℃)-20～80 -20～80 -20～80 -20～80 -20～80 -20～80 -20～80 -20～80 外型尺寸 A×B×C
(mm)
×2434×46.5
×2434×54.5
×2452×74
×2434×36.5
×2434×46.5
×2434×54.5
×2452×74
×24安装尺寸 D×E
(mm)10×12 20×12 25×12 35×12 10×12 20×12 25×12 35×12 安装尺寸 F×G
(mm)10×10 10×10 10×10 30×10 10×10 10×10 10×10 30×10 安装尺寸 H
(mm)10 10 15 - 10 10 15 - 运动部分 M×N
(mm)23.7×21 25.7×21 31.7×21 50.2×21 23.7×21 25.7×21 31.7×21 50.2×21 模型下载 IGS IGS IGS IGS IGS IGS IGS IGS
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-1C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-1CR0150