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重复定位精度
主要参数MPT-1AN/RL050 MPT-1AN/RL100 MPT-1AN/RL200 运动自由度 X X X 行程范围
(μm±10%)50 100 200 位移分辨率
(nm)5 10 20
(nm)-/50 -/100 -/200 运动方向最大推力
(N)300 300 300 运动方向最大拉力
(N)50 50 50 最大负载
(Kg)1.5 1.5 1 固有频率
(Hz)600 300 150 重量
(g±5%)600 850 1100 工作电压
(V)0～150 0～150 0～150 工作温度范围
(℃)-20～80 -20～80 -20～80 外型尺寸 A×C
(mm)100×90 120×110 150×140 外型尺寸 K×J
(mm)21×24.5 21×24.5 21×24.5 运动部分 B×D
(mm)45×35 60×50 70×60 运动部分 E×F
(mm)37×27 50×40 60×50 运动部分 G
(mm)56 68 87 安装尺寸 M×L
(mm)4.5×8 4.5×8 4.5×8 安装尺寸 I M4 M4 M4 模型下载 IGS IGS IGS
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-1C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-1CR0150