特点
• 快速,可实现在线检测
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应用范围
• 半导体、TFT-LCD、LED、太阳能等产业,湿制程蚀刻液、去光阻液等线上浓度分析
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解决方案
• 依客户要求的精度及预算,提供最适当的解决方案。包括各种光谱仪及光源,从UV到
NIR(200~2,500nm),以及拉曼光谱仪。
• 穿透式、反射式架构及拉曼散射。 • 客制化的模型:线性及非线性回归演算法。 • 针对实际应用,提供俱有稳健性及优化的模型。 • 线上模型的修改。 |
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完整的解决方案
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模型概念
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