性能指标:

1. 隔振频率: 1—200Hz

2. 隔振性能：>5Hz  90%,  >10Hz  95%  (@ v=0.1mm/s)

3. 负载能力：根据平台尺寸而定

4. 单作动器最大补偿力:  ±10N (垂直)，±10N(水平)

5. 冲击响应时间：≤300ms

6.  供电：220V   50W.

7. 工作温度及条件: 温度 5-40℃.  湿度  0-60%.工作条件小于2500m海拔高度.

 

系统涉及概念及参数：

单个作动器最大补偿力：为系统单个作动器对平台振动所能施加反作用力的最大值。

冲击响应时间：为系统受到一定量的冲击振动后恢复稳定所经历的时间；系统冲击响应时间：300ms。

音圈电机：因其结构类似于喇叭的音圈而得名，具有高频响、高精度的特点。根据振动环境和系统总质量的不同，最大可提供±10N的力。

传感器：加速度传感器，是感知外界振动信号加速度大小的器件。传感器量程 0.5g，频率范围0.05-300Hz，灵敏度10V/G

控制器：主要负责信号放大、滤波、变换、采集数据，计算，功率放大的模块。

应用领域：

扫描探针显微镜（AFM/LFM/STM）

激光干涉仪

激光共聚焦显微镜

对振动有极高要求的仪器设备

冲击响应时间: 

经主动控制

 

未经主动控制

 

隔振后的速度值：

经主动控制

未经主动控制