结

构

描

述

X,Y轴行程

50*50mm

台面尺寸

160*140mm

螺杆规格

高精密滚珠螺杆（导程1 mm）

导轨

交叉滚柱导轨

步进电机（1.8°）

20步进电机

主体材料

铝合金

表面处理

阳极氧化发黑

台面承载

1Kg

重量

1.5Kg

精

度

描

述

分辨率

5μm（无细分）

Z大速度

5mm/s

重复定位精度

5μm

对定位精度

无

直线度

30μm

运动平行度

30μm

俯仰

40μm（50mm行程）

偏摆

40μm（50mm行程）

回程间隙

5μm

丢步

无