TopWave 266工业级连续波 UV 激光


Ø150/300 mW @ 266 nm

Ø优异的寿命表现(> 10000 小时)

Ø在整个寿命期间保持光束质量一致(M² < 1.3)

Ø配备自动晶体移位器的密封倍频腔

Ø超稳定,低噪音连续操作,交钥匙系统

工业级连续波TopWave深紫外激光系统在266nm波长处提供300mW输出功率,它具有出色的功率稳定性及高的可靠性。该系统将一套完整的紫外光路(包括共振倍频腔)密封于单独模块内。结合倍频晶体的全自动位移器,系统典型寿命> 10,000小时,这对于任何工业应用都十分关键。通过优化光束整形设置,系统能保持光束质量的一致性,这套整形装置也集成在密封的UV模块里。为了避免在非超净室环境中输出光窗的污染,用户可将吹扫管线连接到所提供的接口。

TopWave 266在低噪音操作方面设定了新的标准。窄线宽激光输出通常具有< 0.1% RMS,因此可保证用户在测量时获得更优良的信噪比。TopWave 266是一套易于集成的交钥匙系统,用户可通过控制单元的触摸面板控制系统,或通过USB/以太网接口与电脑用户界面搭配进行控制。由于其电光转换效率高,系统运行时仅需传导冷却。如果无法进行适当散热,可选择闭环水冷机制。

TopWave 266非常适用于复杂的测量和生产任务,例如:半导体检测,光刻或拉曼光谱等。它是一种经济高且可靠的激光,使客户能够不必担心光源而专注于自己的应用。

产品规格

激光规格

TopWave 266-150

TopWave 266-300

输出功率

150 mW

300 mW

线宽

< 1 MHz

波长

266 nm ± 0.5 nm

光梳直径

0.4 mm ± 0.2 mm

光束发散角(全角)

≤ 1.1 mrad

椭圆率

< 15 %

光束指向稳定性(典型值)

5 µrad / K

光束质量

TEM00

M² x < 1.3, M² y < 1.3

偏振性质

线性偏光, 垂直方向 < ± 3°

偏振消光比

> 200 : 1

能量稳定性

8小时内 < 1 %

RMS 噪声

< 0.3 % (10 Hz - 10 MHz)

寿命(典型值)

标称输出功率(with optics shifts) 情况下, > 10.000 hours

使用及环境规格

激光头尺寸

135 x 295 x 470 mm³(高X宽X深)

控制单元尺寸

154 x 378 x 448 mm³(高X宽X深)

Umbilical length

2 m

温度范围

操作温度

20 °C 至
35 °C,波动稳定至
± 3 °C, 非冷凝

储存及运输

-10 至 +50 °C

冷却要求

激光头

如果有合适的控温热沉,传导散热。
可选闭合回路冷却盘

控制单元

风冷

线电压

交流 100 - 240 V 50/60 Hz

功耗

< 120 W

通讯接口

USB, 以太网


应用

Ø半导体检测

Ø拉曼光谱

Ø拉曼显微镜

Ø光线布拉格光栅

Ø光刻

Ø母盘刻制

Ø光学检测

Ø光致发光(PL)

公司介绍

德国Toptica公司为科研及工业应用开发并制造激光系统,产品线包括二极管激光器,超快光纤激光,太赫兹系统以及频率梳等。TOPTICA激光器优良的性能表现,可靠性以及使用寿命收到各方OEM客户,科学家以及多位诺贝尔奖获得者的首肯。