脉冲宽度（FWHM）

≤15ps

≤15ps

≤20ps

≤50ps

重复频率

10Hz

10Hz

10Hz

1Hz

能量

    1064nm

50mJ

100mJ

250mJ

1J

    532nm（可选）

25mJ

50mJ

125mJ

500mJ

    355nm（可选）

15mJ

30mJ

80mJ

--

    266nm（可选）

5mJ

10mJ

25mJ

--

能量稳定性

±2.0%RMS

±2.0%RMS

±2.0%RMS

±2.0%RMS

光斑直径（1/e²）

8mm

10mm

12mm

20mm

光斑模式

TEM₀₀或平顶

平顶

平顶

平顶

光斑发散角（1/e²）

<1mrad

<0.5mrad

<0.5mrad

<0.5mrad

偏振比

100:1

100:1

100:1

100:1

光束指向稳定性

±30μrad

±30μrad

±30μrad

±30μrad

预热时间

<5分钟

<5分钟

<5分钟

<5分钟