脉冲宽度（FWHM）

<15ps

<15ps

<15ps

<15ps

重复频率

10Hz

10Hz

1kHz

10kHz

能量

    1064nm

1mJ

5mJ

1mJ/1W

200μJ/2W

    532nm（可选）

0.5mJ

2.5mJ

0.5mJ/0.5W

100μJ/1W

    355nm（可选）

0.3mJ

0.3mJ

——

——

    266nm（可选）

0.1mJ

1mJ

——

——

能量稳定性

±2.0%RMS

±2.5%RMS

1.0%RMS

1.0%RMS

光斑直径（1/e²）

3mm

6mm

2mm

2mm

光斑模式

TEM₀₀

TEM₀₀

TEM₀₀

TEM₀₀

光斑发散角（1/e²）

<0.5mrad

<0.3mrad

<1mrad

<1mrad

偏振比

100:1

100:1

100:1

100:1

光束指向稳定性

±30μrad

±30μrad

±30μrad

±30μrad

预热时间

<5分钟

<5分钟

<5分钟

<5分钟