本表面质量标准可用于判定光学元件表面上的擦痕和疵点属于哪个级别。本品带60mm刻尺，每个面上都有6个尺寸不一的栅格，6个频率不一的刻线，栅格可用来测量不规则区域的缺陷，缺陷区域的等级数就是在这个面积下不良项的平方根。标准要求设置两个面，1面包括等级范围从0.004到0.040，而2面范围从0.040到0.400。第一个面等级标号标在玻璃衬底上面，第二个面等级标号标在玻璃衬底下面。阳版采用不透明图案，背景透明，阴版为透明图案，背景不透明。
注意: 每个产品都有承诺书。
| Plate 1 | |||||
| Grade No. | Circ. Diameter (μm) | Dim. of Scratch (μm) | Freq. Block (lp/mm) | Grid Block Line W (μm) | Grid Block Line Spacing (μm) |
| 0.004 | 4.5 | 1 x 16 | 500 | 1 | 4.5 |
| 0.006 | 7 | 1.6 x 25 | 312.5 | 1.6 | 7 |
| 0.010 | 11 | 2.5 x 40 | 200 | 2.5 | 11 |
| 0.016 | 18 | 4 x 63 | 125 | 4 | 18 |
| 0.025 | 28 | 6.3 x 100 | 80 | 6.3 | 28 |
| 0.040 | 45 | 10 x 160 | 50 | 10 | 45 |
| Plate 2 | |||||
| Grade No. | Circ. Diameter (μm) | Dim. of Scratch (μm) | Freq. Block (lp/mm) | Grid Block Line W (μm) | Grid Block Line Spacing (μm) |
| 0.040 | 45 | 10 x 160 | 50 | 10 | 45 |
| 0.060 | 70 | 16 x 225 | 31.25 | 10 | 70 |
| 0.100 | 110 | 25 x 400 | 20 | 10 | 110 |
| 0.160 | 180 | 40 x 630 | 12.5 | 10 | 180 |
| 0.250 | 280 | 63 x 1000 | 8 | 10 | 280 |
| 0.400 | 450 | 100 x 1600 | 5 | 10 | 450 |