TECHSPEC® 极紫外平面反射镜是多层反射镜，在其设计波长和入射角下实现最大反射率。这些反射镜的特点是反射涂层沉积在一个超抛光的单晶硅基板上，表面粗糙度小于3Å RMS. 45°自动光学检验反射镜可用于转向s偏振光束，而 5° 自动光学检验反射镜可用于非偏振光束. 极紫外线反射镜的应用包括相干衍射成像 (CDI) 和材料科学研究。TECHSPEC 极紫外平面反射镜也可用作高次谐波 (HHG) 光束的谐波选择器.

注意: 附带每个反射镜运行样本的测试数据.

通用规格

基底:

Single Crystal Silicon

直径 (mm):

25.40 ±0.25

涂层:

Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon

镀膜类型:

Metal/Semiconductor

表面粗糙度（埃）:

<3 RMS

厚度 (mm):

6.35

厚度容差 (mm):

0.508

表面平整度 (P-V):

λ/10 @ 632.8nm