Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度测量系统采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪原理。
如图所示：
Light Source(短相干光源)发出短相干光束，经Beamsplitter分束成两束光，这两束光通过准直仪聚焦到Measurement arm(测量臂)和Reference arm(参考臂)上；
在测量臂段，光束经待测物前后两表面反射产生两束反射光；在参考臂段，光束被delay line(延迟线路)中的扫描参考镜反射。
各反射光束经光纤返回到Beamsplitter 中，此时扫描反射镜反射的光束分别与R1和R2两束光发生干涉产生两干涉信号经探测器(光电二级管)转换为电信号再由显示仪显示。参考镜位置可以精确移动，当干涉仪的测量臂与参考臂光程相等时，才能够发生干涉。这样通过监控参考镜的移动，就可以 测量被测镜的位置。
1. 非接触式、非破坏性；
2. 实时在线测量或离线测量；
3. 可单次测量多层膜，最高可测 20 层；
4. 探针灵活配置，实现多个不同目标测量 （最多可配8个探头）；
5. 测试速度快（1s）
6. 适用范围广
型号 | OptiGauge® LT | OptiGauge II | OptiGauge EMS |
测量范围（n=1.5） | 12μm to 3.3 mm | 12µm to 12 mm | 12µm to 35 mm |
测量层数 | 1 | 20 | 20 |
绝对精度 | ±1μm | ±0.1µm | ±0.1µm |
重复精度 | 1μm 1σ | 0.1µm 1σ | 0.1µm 1σ |
扫描速率 | 50Hz | 50Hz,100Hz 和200Hz可选 | 20Hz |
光源 | 1310nm SLED 45nm wide | 1310nm SLED 45nm wide | 1310nm SLED 45nm wide |
测量头工作距离 | 25mm 和 50mm | 25mm 和 50mm | 25mm 和 50mm |
光纤长度 | 3m，max 1000m | 3m，max 1000m | 3m，max 1000m |
Lumetrics 产品既可以提供独立的测量头，也可以集成在各种设备中，广泛应用在以下领域，
1、光电子行业：
2 、薄膜行业：测量塑料薄膜的厚度
3 、医疗行业：测量滴液管、塑料管壁厚、糖尿试纸、血袋等
4、单件元件厚度控制（特别适用于红外材料，测量厚度控制平行度）
5 、平板玻璃厚度测试：浮法玻璃、液晶平板 透镜中心厚及胶合间隙测量
