双折射(应力)测量系统-Exicor® 150AT

       

        Hinds 仪器的Exicor双折射测量系统型号150AT是Exicor®双折射测量系统系列产品的工作平台。 该系统具有足够的多功能性,在生产车间和研发实验室环境中均可胜任。 该模型广泛用于研究和工业中测量组件; 如光掩膜和光刻胶、DVD空白、塑料薄膜、透镜毛坯、激光晶体、手机显示窗、注塑件等等。 台式设计和直观的自动扫描软件使该产品成为高价值精密光学元件和商品光学元件(高达150mm X 150mm)的日常评估的最佳选择。


前沿灵敏度和重复性


       使用Hinds仪器专利光弹性调制器(PEM)技术,该系统提供最高水平双折射灵敏度。此外,PEM提供高速操作,以50千赫的速率进行调制。前沿灵敏度和重复性很容易提供亚纳米级的双折射测量,对许多应用至关重要。


专为简单、直接的操作而设计


        一个大至6“x 6”(可选大尺寸)的光学样品可以通过手动或自动映射和图形显示进行表征。 一旦将样本放置在翻译阶段,直观的软件就可以指导操作员完成步骤测量过程。 用户界面软件计算延迟值和快轴角度,并以各种格式显示它们。 该软件还提供文件管理和校准功能。


应用


质量控制计量
低水平双折射测量的有

光刻组件的质量验证,包括


主要特点


在低水平双折射测量中具有
同时测量双折射幅度和角度
精确度可重复性
高速测量
光学系统中无移动部件
 可变尺寸光学元件的自动映
 光弹调制器技术
 简单、便于用户使用的操作

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       Exicor 150AT测量通过正在研究的光学样品的光路上的延迟。它旨在测量和显示样品光学延迟的幅度和快轴取向。


        独特的设计(专利申请中)消除了光学系统中的移动部件,并避免了在测量角度之间切换的必要性。氦氖激光束被偏振然后由PEM调制。调制后的光束透过样品并由分光镜分开。每束光束通过分析仪、光学滤光片和光电探测器的组合。电子信号通过一个锁定放大器处理,提供非常低的信号检测。由Hinds 仪器公司开发的软件算法将来自电子模块的信号电平转换为可以确定线性双折射的参数。计算机从两个输入中选择,允许从两个信号通道进行连续测量。分析数据,然后显示延迟大小和轴角度并存储在文件中。当在自动映射模式下操作时,x-y平移阶段将把样本移动到下一个预定的测量位置。结果以用户指定的格式即时显示。

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