Quasar™ 系列的突破性性能,使得在高脉冲重复率下,为业界带来高UV平均功率和高脉冲能量,实现快速微加工。Quasar采用新颖的 TimeShift™ 技术,可编程脉冲形状,实现优异的处理速度、灵活性和控制
突破性技术
Quasar 结合了先进的光纤激光器,功率放大器和拥有专利的谐波技术,以实现突破性的成果。 这种独特的设计利用光纤激光器的灵活性和坚固性来实现TimeShift 技术。通过添加 Spectra-Physics 专属功率放大器,Quasar 在高输出功率水平上实现更好的灵活性。 最后,凭借Spectra-Physics拥有专利的谐波技术(以卓越的稳定性而闻名),Quasar在可靠的全天候OEM激光器中,为严苛的应用继续提供功率、灵活性和控制的创新协同作用。
Quasar 355-60 可在200 kHz 和 300 kHz 频率下产生 >60 W 的紫外输出功率以及 >300 µJ 的脉冲能量,与Spectra-Physics的突破性Quasar 355-45激光器相得益彰。Quasar 355-60 可在宽泛的 0-3.5 MHz 重复率范围内运行,脉冲宽度从 38 W的紫外输出功率。Quasar 355-60 Turbo 是高速多边扫描系统的完美搭档。Quasar 532-95 nm可产生> 95 W的绿光输出功率,其脉冲宽度和PRF范围类似于Quasar 355-60,与Spectra-Physics的突破性Quasar 532-75激光器相得益彰。
Quasar 根据严格的质量标准进行设计、构造和测试、可在严苛的全天候制造环境下进行可靠的连续操作。 内置的ALPS(主动激光净化系统)有助于延长使用寿命。最后,Quasar激光器的自动数据记录软件可在激光器的整个生命周期内监控所有关键激光器性能参数,提供强大的服务功能和产品可靠性工具。 此软件的客户版本也可用。
Quasar 是提供 TimeShift 技术的此类别的首个激光器、可在时间域内实现脉冲能量的可编程性。 通过控制激光器脉冲的时间和重复率、微加工材料的去除和/或修改将变得更加有效、从而加快了处理速度、提高了处理质量。 在较高的重复率下同时采用 TimeShift 和高紫外功率或高绿光功率意味着 Quasar 可以更快更优质的服务处理更多的材料。 TimeShift 可实现脉冲宽度波动、以及脉冲分裂和突发模式操作。 对于 Quasar 355-60 和 532-95 型号、可在恒定脉冲重复频率下得到从 <2 ns 到 >100 ns 的脉冲宽度、或相反地使用从 0 到 3.5 MHz 的不同重复频率维持恒定脉冲宽度.每台Quasar激光器都配备一系列标准TimeShift波形、用户可以使用TimeShift图形界面软件开发自己的波形、软件另行收费。
与传统的 Q 开关激光器不同、Quasar 的 TimeShift 技术可在多种脉冲重复率下维持恒定脉冲宽度。 恒定脉冲宽度意味着峰值功率更为恒定以在较高的速度下得到更一致的处理结果。
10 ns 时 200 kHz1,2 | 10 ns 时 300 kHz1,2 | 10 ns 时500 kHz1,2 |
改变给定重复率的脉冲宽度可用于优化材料交互。 通过更改某一脉冲(脉冲整形)内的能量和强度、可进一步优化材料的加热或冷却。
30 ns 时 200 kHz1,2 | 50 ns 时 200 kHz1,2 | 100 ns 时 200 kHz1,2 |
10 ns, 2:1 高度比率1,2 | 10 ns, 1:2高度比率1,2 |
通过在给定的脉冲重复率下分裂脉冲、使材料能够驱散热量或电浆、从而使材料去除变得更有效。 通过改变爆发内脉冲的数量、间隔和相对强度可精确定制工件中的时空热剖面、加快处理速度和/或提高处理质量。
6 x 10 ns 次脉冲1,2 | 10 x 5 ns 次脉冲 (突发模式)1,2 |
1. 典型的测量性能;而非保证规格或授权规格。
2. 设置示波器的垂直范围使脉冲峰值为窗口的 75%。
Quasar 355-60 | Quasar 355-45 | Quasar 532-95 | Quasar 532-75 | |
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波长 | 355 nm | 355 nm | 532 nm | 532 nm |
输出电源 | >60 W 时 200 kHz、10 ns >60 W 时 300 kHz、10 ns | >45 W 时 200 kHz、10 ns >45 W 时 250 kHz、10 ns >41 W 时 300 kHz、10 ns | >95 W 时 200 kHz、10 ns | >75 W 时 200 kHz、10 ns |
最大脉冲能量 | >300 µJ | >225 µJ | >475 µJ | >375 µJ |
重复率范围 | 0–3.5 MHz | 0–1.7 MHz | 0–3.5 MHz | 0–1.7 MHz |
已优化的 TimeShift™ 设置 (光束优化的标称设置) | 300 kHz, 10 ns | 200 kHz, 10 ns | ||
脉冲对脉冲稳定性3 | <5%, 1σ | |||
功率稳定性 (预热后) | <2%,1σ ,(8 小时以上) | |||
光束指向稳定3 | <±25 μrad/°C | |||
峰到峰功率稳定性 (预热后) | 8 小时以上 ±3% | |||
偏振特性 | 水平向 ≥100:1 | 水平向 ≥100:1 | 垂直向 ≥100:1 | 垂直向 ≥100:1 |
空间模式3 | TEM00 (M2 <1.3) | |||
光束发散、全圆角3 | <0.3 mrad | <0.45 mrad | ||
光束不对称2 | <1.10 (>90%圆形度) | |||
脉冲宽度、FWHM (TimeShift 可编程)4 | <2 ns 至 >100 ns | <5 ns 至 >100 ns | <2 ns至 >100 ns | <5 ns 至 >100 ns |
光束直径 (D4σ)3 | 3.5 ±0.35 mm | |||
光束不对称性2 | <1.0 ±10% | |||
孔径公差3 | ±0.5 mm ±5 mrad |