这些真空兼容的高性能不锈钢平移台的设计能够让部件平稳、精确地移动。每个交叉滚子轴承平移台都组装得十分干净洁净车间安装，涂抹了低气压润滑脂，在单轴或多轴移动下的角度偏差 <150 µrad。

• 真空兼容交叉滚子轴承平移台，可达 10-6 Torr

• 平移台为清洁装配，且使用低气压润滑脂

• 控制精确且可实现平滑平移，偏差小于 150 µrad

• 无底座时也可用，适用于最薄型

• 超稳定亚微米级性能

产品规格

Notes:

1. The 9067-COM-V stage is a 9067-X-V without a base plate.

2. -M metric versions have M4 and M6 threaded mounting holes.

3. Contact us for compatible vacuum adjustment screws and micrometers.

特征

使用低气压润滑脂进行清洁装配

真空兼容的交叉滚子轴承平台是清洁组装的，并且由适于在低至 10^-6 托的真空压力中使用的低蒸气压油脂制成。9066 和 9067 版本不带底座，更便于集成到有体积限制的真空系统中。

精确控制和平滑位移

这些真空兼容的交叉滚子位移台提供了可靠坚固的薄型线性位移。与其标准版本类似，负重安放在这些位移台的促动器上，水平和垂直方向（包括 X 配置位移台）上的载重能力高达 50 磅，并且可以锁定到位。这也可实现高达 50 磅的高载重能力。角偏差 <150 μrad，且直线精度优于 3 微米，可达到通常所需的微米级行程精度。

Right or Left Handed Stage Configurations

These stages come in mirror-image right and left-hand versions for more flexibility in how you lay out your experiment on the table, so there's never a need to reach over your work to make adjustments on the far side.

Low Profile X Translation Stages

We offer low profile -COM commercial versions of these stages designed to fit directly into your system. They not include the mounting base plate for reduced height and lower cost.

全不锈钢结构