压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有超高聚焦稳定性，物镜定位器装入显微检测 / 测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。


特点：

• 最大行程 100μm 

• 最大承载 0.2kg 

• 毫秒级响应时间 

• 闭环重复定位精度高 

• 开环 / 闭环可选


技术参数：

型号

尾缀S-闭环

P72.Z100S

单位

  运动自由度

Z


  运动和定位

  标称行程范围（0~120V）

80

µm±20%

  行程范围（-20~150V）

100

µm±20%

  传感器类型

SGS


  分辨率

5

nm，typ.

  闭环线性度

0.1

%F.S.

  闭环重复定位精度

0.05

%F.S.

  机械性能

  运动方向推/拉力

110/15

N

  运动方向刚度

1.4

N/µm±20%

  空载谐振频率

0.35

kHz±20%

  空载阶跃时间

10

ms±20%

  空载工作频率*

  10%行程

50

Hz±20%

  100%行程

15

  承载能力

0.2

Kg

  驱动性能

  静电容量

3.6

μF±20%

  其他

  工作温度范围**

-20~80

°C

  材质

钢


  外形尺寸（长×宽×高）

48×40×22

mm

  通光孔直径***

15

mm

  重量

150

g±5%

  出线长

1.5

m±10mm

  传感/电压连接器****

LEMO