TMC——Mag-NetX主动磁场消除 法拉第笼

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概述

Mag-NetX设计用于任何带电束仪器，是一种创新的主动控制系统，可补偿磁场波动。通过带数字接口的模拟控制器，Mag-NetX具有更实时的消振和连续监控功能，同时为用户提供了一个简单的内置LCD或基于PC的图形用户界面（GUI）。通过连续监控GUI显示的测量字段，可在不依赖于显微镜图像的情况下进行微调。另外，自动调整使典型SEM应用的启动变得更加简单。

亥姆霍兹型配置采用独立式笼，安装在室内墙壁轨道上或直接安装在外壳内部，可根据您的需求和应用配置Mag-NetX。

TMC可满足您的扫描和透射显微镜、电子束光刻和离子束仪器在磁场补偿和振动控制方面最苛刻的要求。

优势

带数字接口的模拟控制器 - 亥姆霍兹型线圈的模拟控制可实现更精确的实时消振。数字面板为用户提供简单的LCD读数或基于PC的图形用户界面（GUI）。

现场调整的灵活性 - 在启动时针对典型环境和应用进行自动调整，或针对更具挑战性的环境进行可调的现场调整。

实时监控 - 通过计算机GUI显示的测量字段进行连续监控，甚至可在不依赖于显微镜图像的情况下进行微调。

产品特点

图1：根据外部励磁驱动线圈的干扰场强度，测量了外部传感器信号的大小。最佳性能是在系统传感器位置。根据外部励磁驱动线圈的干扰场强度，测量了外部传感器信号的大小。励磁线圈位于亥姆霍兹笼外，外部传感器线圈位于系统传感器周围。由于笼的尺寸，Z补偿场的均匀性低于X和Y，但受保护尺寸较长，因此Z抑制较低。

产品规格

系统
系统组件3轴正交磁传感器、Mag-NetX控制器、笼内亥姆霍兹线圈对、外壳安装或壁安装式配置
主动磁场消除轴X、Y、Z
传感器类型磁通门型，噪声 <10 pT/>基数；Hz @ 1 Hz
最大环境直流场（取决于传感器）±70 μT标准
可提供高达±250 μT
带宽（取决于笼和传感器）直流，1 kHz典型值，最高可达2 kHz
动态范围（取决于笼和频率）典型值±10 μT，最高±100 μT
典型值40 dB，最大55 dB
控制体积与磁场磁通密度50 m3 @10 μT RMS（取决于笼参数）
1 m3 @ 50 μT RMS（标准控制器能够通过特殊的笼结构消除地球磁场）
10 m3 @ 50 μT RMS（用于通过特殊的笼和外部放大器来消除更大体积的地球磁场）
传感器位置的场减少率
使用36 x 36 x 52英寸/
91 x 91 x 132厘米（长 x 宽 x 高）的典型笼；		直流100 Hz时的40 - 50 dB（100x - 300x）典型值
100-500 Hz时的26 dB（20x）典型值
典型电子
显微镜柱体积
12 x 12 x 24英寸/30 x 30 x 60厘米中的场减少率
使用60 x 60 x 84英寸/
152 x 152 x 213厘米（长 x 宽 x 高）的笼		X、Y：直流100 Hz时的30 dB（32x）典型值
X、Y：100-500 Hz时的20 dB（10x）典型值
Z：直流100 Hz时的15 dB（5.2x）典型值
Z：100-500 Hz时的10 dB（3x）典型值
0 dB @ 1000 Hz
控制器
尺寸17 x 9 x 1.75英寸/43 x 23 x 4.5厘米
操作模式通电后：

  • 自动自检/校准，并在1分钟内切换到控制模式。无需用户参与。

  • 手动测试/调试模式

  • 真正的直流模式（补偿地球磁场）

  • 偏置直流模式（忽略地球磁场）

  • 跟踪显微镜运动零件引起的直流漂移

  • 准直流模式（忽略> 100秒波动）

  • 取消和创建（同时取消干扰和创建自定义字段）

控制工具的类型

  • 数字控制增益的模拟反馈，DC - 2 kHz

  • 数字反馈

  • 数字前馈（取消交流线路电源频率和谐波，而没有反馈的增益稳定性限制）

状态LED指示灯绿色=正常；黄色=警告/错误
LCD 2x20符号显示显示菜单和状态
条形LED指示灯显示XYZ补偿场的实时强度
4个方向按钮用于LCD菜单导航
USB插槽（在PC上显示为COM端口）用于高级调整/测试的图形用户界面，接受ASCII命令和显示菜单
辅助模拟输入端（后DB-37）可以用作前馈或创建自定义字段
通行和不通行信号继电器二进制，用作受保护系统的输入端
电源要求90-240 VAC，50/60 Hz，最大500 VA。

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