型号:F30

品介绍

F30系列在线厚度测量系統是临控薄膜沉积最强有力的工具,能实时测量沉积率、沉积层厚度、光学常数(n和

k值)和半导体以及电介质层的均匀性。在分子束外延和金属有机化学气相沉积镀膜中,F30可以测量平滑和半透明

的,或轻度吸收的薄膜,这实际上已经包括了从氮化塚铝到镓铟磷砷的任何半导体材料

F32则可以配置多个探头,最多可在四个不同位置同时测量海膜的厚度,软件和测里结果可以通过设备上的数字

I/O接口进行控制和采集,「32是一款非常适合集成在自动化生产线的膜厚测量设备