STACIS最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现已成为嘈杂环境(包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心)中最敏感仪器的行业标准解决方案。
STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的 gao 级 控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口,为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面(GUI)。STACIS已拥有数百个成功的安装案例,是理想的隔振系统,适用于对振动敏感的仪器。
优势特点:
STACIS比空气隔振器硬数百倍,没有ren 何 空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架,与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方,使两个系统都在 zui 佳 状态下运行。
du 特 的串行设计和专有的高力压电技术 可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的 zhuo 越 主动隔振性能。
技术参数:
主动自由度 6
主动带宽 0.6 Hz - 150 Hz
被动固有频率 18 Hz垂直和水平
you 效 的主动共振频率 0.5 Hz
10磅(4.5千克)步进输入后的稳定时间(减少10:1) 0.3秒
每个隔振器的工作负载范围
低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克)
中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克)
高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克)