A-141
§ 运动平台的尺寸57毫米×93毫米
§ 低外形38毫米
§ 行程达35 毫米
§ 负载容量达3 公斤
§ 速度达0.25 米/秒
§ 加速度达3.5米/平方秒
产品概述
带空气轴承的PIglideMB线性平台配备伺服线性电机驱动器，驱动器配置带预载的空气轴承和集成式光学线性编码器。该平台外形小巧，提供超高精度。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供最高的性能、质量和使用寿命。
§ PIglide过滤器和空气预处理器
§ 单轴和多轴运动控制器
§ XY装置和个性化配置
§ 用于垂直（Z）方向的平衡配件
§ 大理石底座板和隔振系统
这类平台非常适合高精度应用，诸如计量、光子学校准、光学定位和扫描。非接触式设计特别适合无尘室应用。电缆线不能移动。空气轴承模块可进行锁定设计，提供最高的位置稳定性。
运动 | A-141 | 单位 | 公差 |
主动轴 | X | ||
行程 | 35 | 毫米 | |
螺距/偏转角(1) 全行程范围内 | 10 | 微弧度 | 最大 |
直线度/平面度(1) 全行程范围内 | 0.5 | 微米 | 最大 |
速度(2)，空载 | 0.25 | 米/秒 | 最大 |
加速度(2)，空载 | 3.5 | 米/平方秒 | 最大 |
机械特性 | A-141 | 单位 | 公差 |
Z向负载能力(3) | 3 | 千克 | 最大 |
移动质量 | 0.3 | 千克 | |
总质量 | 0.6 | 千克 | |
导向类型 | 空气轴承 |
驱动特性 | A-141 | 单位 | 公差 |
驱动类型 | 线性电机，无铁芯，三相 | ||
中间电路电压，有效 | 48，标称值 80，最大值 | 伏直流 | |
峰值力 | 2.3 | 牛 | 典型值 |
标称力 | 0.58 | 牛 | 典型值 |
有效力常数 | 2.1 | 牛/安 | 典型值 |
相间电阻 | 22.4 | 欧姆 | 典型值 |
相间电感 | 1.0 | 毫亨 | 典型值 |
相间反电动势 | 0.7 | 伏·秒/米 | 最大 |
布线 | 内部，无移动电缆 |
定位 | A-141 |
集成传感器 | 带行程限位和原位标记的增量式线性编码器 |
传感器信号 | 正弦/余弦，1伏峰峰值，20微米信号周期 |
传感器分辨率 | 1.2纳米(4) |
双向重复性 | ±0.1微米(4) |
精度，未补偿(5) | ±2.0微米 |
精度，带误差补偿(5) | ±0.25微米 |
其他 | A-141 |
工作压力(6) | 65±5磅／平方英寸（450±35千帕） |
耗气量 | < 1.0 标准立方英尺每分（28 标准升每分） |
空气质量 | 干净（未经过滤达1.0微米或更佳） – ISO 8573-1 一级无油– ISO 8573-1 一级 干燥（露点为-15摄氏度） – ISO 8573-1 三级 |
材料 | 硬膜铝，不锈钢紧固件 |
(1) 取决于平台安装表面的平面度。
(2) 可能受有效载荷、控制器或驱动器的限制。
(3) 假定有效载荷重心位于运动平台上方50毫米范围以内的中央。平台仅设计用于水平操作。(4)假定16384x插值。有关其他因子的使用，请联系PI。
(5) 通过基于控制器的误差补偿，可获得改善的精度。为实现这些数值，平台必须与PI控制器一同订购。精度值取短时间段，不考虑平台上热漂移
的长期影响。
(6) 为防止平台损坏，建议将空气压力传感器连接到控制器E-停止输入端。
A-141.035A1，尺寸单位为毫米