P-611.3
§ 行程达120 微米×120 微米×120 微米
§ 超紧凑型：44 毫米 × 44 毫米× 44 毫米
§ 分辨率达0.2纳米
§ 快速响应行为
§ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统
§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
§ 用于快速扫描
§ 带集成式光纤夹持器的版本
§ 极其经济实惠的系统
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
规格
P-611.3S P-611.3SF | P-611.3O P-611.3OF | 单位 | 公差 | |
主动轴 | X、Y、Z | X、Y、Z | ||
运动和定位 | ||||
集成传感器 | 应变片传感器 | |||
-20至120 伏时的开环行程 | 120/轴 | 120/轴 | 微米 | +20 % / -0 % |
行程，闭环 | 100/轴 | – | 微米 | |
分辨率，开环 | 0.2 | 0.2 | 纳米 | 典型值 |
分辨率，闭环 | 1 | – | 纳米 | 典型值 |
线性误差 | 0.1 | – | % | 典型值 |
重复精度 | <10 | – | 纳米 | 典型值 |
X、Y向上的螺距 | ±5 | ±5 | 微弧度 | 典型值 |
θX向上的倾斜（Z向运动） | ±10 | ±10 | 微弧度 | 典型值 |
X向上的偏转角 | ±20 | ±20 | 微弧度 | 典型值 |
Y向上的偏转角 | ±10 | ±10 | 微弧度 | 典型值 |
θY向上的倾斜（Z向运动） | ±10 | ±10 | 微弧度 | 典型值 |
机械特性 | ||||
刚度 | 0.3 | 0.3 | 牛/微米 | ±20 % |
X / Y / Z向上的空载谐振频率 | 350 / 220 / 250 | 350 / 220 / 250 | 赫兹 | ±20 % |
带30克负载时X/Y/Z向上的谐振频率 | 270 / 185 / 230 | 270 / 185 / 230 | 赫兹 | ±20 % |
带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率 | 180 / 135 / 200 | 180 / 135 / 200 | 赫兹 | ±20 % |
运动方向上的推/拉力 | 15 / 10 | 15 / 10 | 牛 | 最大 |
负载容量 | 15 | 15 | 牛 | 最大 |
驱动特性 | ||||
陶瓷类型 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | ||
电容 | 1.5 | 1.5 | 微法 | ±20 % |
其他 | ||||
工作温度范围 | -20 到 80 | -20 到 80 | °C | |
材料 | 铝、钢 | 铝、钢 | ||
尺寸 | S版本： 48 毫米× 44 毫米× 43.2 毫米 SF版本： 44 毫米× 50 毫米× 44.2 毫米 | O版本： 44 毫米× 44 毫米× 43.2 毫米 OF版本： 44 毫米× 50 毫米× 44.2 毫米 | ||
质量 | 0.32 | 0.32 | 千克 | ±5 % |
电缆长度 | 1.5 | 1.5 | 米 | ±10 毫米 |
电压连接 | Sub-D25针（公头） | Sub-D25针（公头） | ||
传感器连接 | Sub-D25针（公头） | – | ||
推荐电控 | E-503、E-505、E-663、E- 664、E-727 | E-503、E-505、E-663、E- 664、E-727 |
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。可提供用于传感器和工作电压的带LEMO连接器的适配器电缆。
所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。
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P-611.3，尺寸单位为毫米