§ 行程达±17毫米/±21度H-811.I2/I2V型号
§ 行程达±17毫米/±21度
§ 负载容量达5公斤
§ 重复精度达±0.06微米
§ 速度达20毫米/秒
§ 超长使用寿命
§ 可提供真空兼容版本
参考级六轴定位系统
六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小真空兼容型可达10-6百帕
无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够精确对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。
科研和工业，标准和真空环境。用于微制造、医药技术、刀具检查。
运动和定位 | H-811.I2 / .I2V** | 单位 | 公差 |
主动轴 | X，Y，Z，θX，θY，θZ | ||
X、Y向上的行程* | ±17, ±16 | 毫米 | |
Z向上的行程* | ±6.5 | 毫米 | |
θX、θY向上的行程* | ±10, ±10 | ° | |
θZ向上的行程* | ±21 | ° | |
促动器设计分辨率 | 5 | 纳米 | |
X、Y向上的最小位移 | 0.2 | 微米 | 典型值 |
Z向上的最小位移 | 0.08 | 微米 | 典型值 |
θX、θY向上的最小位移 | 2.5 | 微弧度 | 典型值 |
θZ向上的最小位移 | 5 | 微弧度 | 典型值 |
X、Y向上的空回 | 0.2 | 微米 | 典型值 |
Z向上的空回 | 0.06 | 微米 | 典型值 |
θX、θY向上的空回 | 2 | 微弧度 | 典型值 |
θZ向上的空回 | 4 | 微弧度 | 典型值 |
X、Y向上的重复精度 | ±0.15 | 微米 | 典型值 |
Z向上的重复精度 | ±0.06 | 微米 | 典型值 |
θX、θY向上的重复精度 | ±2 | 微弧度 | 典型值 |
θZ向上的重复精度 | ±3 | 微弧度 | 典型值 |
X、Y和Z向上的最大速度 | 20 / 10 | 毫米/秒 | |
θX、θY、θZ向上的最大速度 | 500 / 250 | 毫弧度/秒 | |
Typ. X、Y和Z向上的典型速度 | 10 / 5 | 毫米/秒 | |
Typ. θX、θY、θZ向上的速度 | 240 / 120 | 毫弧度/秒 |
机械特性 | H-811.I2 / .I2V** | 单位 | 公差 |
X、Y向上的刚性 | 0.7 | 牛/微米 | |
Z向上的刚性 | 8 | 牛/微米 | |
负载能力（底板为水平方向） | 5 | 千克 | 最大 |
负载能力（底板为任意方向） | 2.5 | 千克 | 最大 |
保持力（断电、底板为水平方向） | 15 | 牛 | 最大 |
保持力（断电、底板为任意方向） | 2.5 | 牛 | 最大 |
电机类型 | BLDC电机 |
其他 | H-811.I2 / .I2V** | 单位 | 公差 |
工作温度范围 | 0 到 50 | °C | |
材料 | 不锈钢，铝 | ||
质量 | 2.2 | 千克 | ±5 % |
电缆长度 | 0.5+3/3（空气）+2（真空） | 米 | ±10 毫米 |
推荐控制器 | C-887.5x |
技术参数为 20±3°C下的数值。
* 单个坐标（X、Y、Z、θX、θY和θZ）的行程相互依赖。本表中各轴对应的数值为其最大行程，此时其他轴和枢轴点位于参考位置。
**对于真空连续操作，由于发热，可能需要对运行参数进行限制。询问定制版本。
H-811.I2, 尺寸单位为毫米