SID4 UV-HR利用其先进的四波横向剪切干涉技术，为紫外波前测量提供了优秀的解决方案。它有非常高的空间分辨率（250x250测量点）和高灵敏度（2 nm RMS）。这确保了UV镜头，表面和UV激光束测试的精确性，适用于光学元件表征（用于光刻，半导体...）以及表面检测（例如晶片检测）。由于它小巧，易于使用，能有效地适应各种实验条件。
产品特点：
l 高分辨率（250×250）
l 大孔径尺寸（8,0 mm×8.0 mm）
l 紫外光谱覆盖
l 高灵敏度（0.5 nm）
l 最佳信噪比
l 适应光学特性
产品参数：
波长范围 | 190-400nm |
孔径尺寸 | 8.0×8.0 mm2 |
空间分辨率 | 32 µm |
采样点 | 250×250 |
绝对准确度 | 10nm |
灵敏度 | 0.5nm |
动态范围 | ＞200 µm |
曲率半径范围 | 10 mm to +∞ |
曲率分辨率 | < 5.10-4 m-1 |
分析频率 | 1 fps |
采样频率 | 30 fps |
尺寸(W×H×L) | 95×105×84 mm |
重量 | ~900 g |