主要特点
台阶高度重现性低于5Å
样品X/Y载物台：手动 X-Y 平移：100mm (4 英寸) / 机动X-Y 平移：150mm (6 英寸)                
最大样品厚度50mm (2英寸)
最大晶圆尺寸200mm (8英寸)