TMC 主动压电陶瓷隔振平台 SEM Base LP

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SEM-Base LP 是我们标准 SEM-Base 主动压电消振平台的定制低剖面版本。SEM-Base LP 更易于安装,性能卓越,并且符合人体工程学。紧凑的设计便于安装,无需使用 SEM 内置调平脚以外的任何东西抬起扫描电子显微镜 (SEM) 柱。而且,一旦安装,SEM 离地面的高度不会增加。SEM-Base LP 采用了我们独特的 STACIS 压电技术,并具有与我们行业标准的 SEM-Base VI 相同的振动消除性能。SEM-Base LP 包括脚轮,专为与许多 Thermo Fisher Scientific(前身为 FEI)工具集成而设计。

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硬安装技术 –SEM-Base VI 与所有内部 SEM 振动控制系统兼容,并积极减轻 0.6 Hz 开始的低频地板振动。

主动惯性振动消除 –SEM-Base VI 使用高灵敏度、低频惯性速度传感器,即使在安静的地板上也能实现高水平的振动衰减。

采用压电技术的串行设计 –独特的串行设计和专有的 Highforce 压电技术可实现 0.6 Hz 至 150 Hz 的宽有源带宽,以及无与伦比的惯性有源振动消除功能,从 2 Hz 开始减少 90%。

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性能规格
主动自由度6
主动带宽0.6 赫兹 - 100 赫兹
被动固有频率标称值为12 Hz
有效的主动共振频率0.5 赫兹
1 Hz时的隔振40% - 70%
2 Hz时的隔振90%
≥3 Hz时的隔振90 - 98%
内部噪音<0.1 纳米 RMSd>
工作负载范围标准承重能力:900 - 2,500磅(408 - 1134千克)
高承重能力:2,500 - 3,200磅(1134 - 1452千克)
磁场发射
4英寸(102毫米)处
距离平台
<0.02 μG 宽带 RMSd>
设计、尺寸、环境和效用要求
环境和安全符合CE和RoHS标准
主动隔振元件最小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。 垂直执行器支撑隔振的有效载荷
被动隔振元件单个硬弹性体(无需压缩空气源)
振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器,用于
测量隔振器下方的地面振动,并
提供与振动运动速度成正比的电压
主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧
下方测量、处理和
支撑隔离面
尺寸(宽 x 深)35.25 x 44.25英寸
895 x 1124毫米
高度标称6.3英寸(160毫米),
SEM-Base关闭时不会改变
工作温度50° - 90° F
10° - 32° C
储存温度-40° - 130° 华氏度
-40° - 55° C
湿度20 时为 80%C,最大露点:18C
系统电源要求100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC;<600 W
符合CE标准
地面位移<800 微英寸。(20 μm) 低于 10 Hzd>
内置控制器规格
处理器150/75 MHz双核
采样率10 kHz
模拟输出16个通道
模拟输入16个通道
状态灯单个LED
前面板端口1个串行USB 2.0
1个串行Micro-USB
1个以太网RJ-45
2个BNC
用户界面前面板液晶显示屏
超级终端上的字符菜单
适用于Microsoft Windows的扩展GUI
嵌入式以太网GUI

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