TMC 主动压电陶瓷隔振平台 SEM Base LP
SEM-Base LP 是我们标准 SEM-Base 主动压电消振平台的定制低剖面版本。SEM-Base LP 更易于安装,性能卓越,并且符合人体工程学。紧凑的设计便于安装,无需使用 SEM 内置调平脚以外的任何东西抬起扫描电子显微镜 (SEM) 柱。而且,一旦安装,SEM 离地面的高度不会增加。SEM-Base LP 采用了我们独特的 STACIS 压电技术,并具有与我们行业标准的 SEM-Base VI 相同的振动消除性能。SEM-Base LP 包括脚轮,专为与许多 Thermo Fisher Scientific(前身为 FEI)工具集成而设计。
硬安装技术 –SEM-Base VI 与所有内部 SEM 振动控制系统兼容,并积极减轻 0.6 Hz 开始的低频地板振动。
主动惯性振动消除 –SEM-Base VI 使用高灵敏度、低频惯性速度传感器,即使在安静的地板上也能实现高水平的振动衰减。
采用压电技术的串行设计 –独特的串行设计和专有的 Highforce 压电技术可实现 0.6 Hz 至 150 Hz 的宽有源带宽,以及无与伦比的惯性有源振动消除功能,从 2 Hz 开始减少 90%。
主动自由度 | 6 |
主动带宽 | 0.6 赫兹 - 100 赫兹 |
被动固有频率 | 标称值为12 Hz |
有效的主动共振频率 | 0.5 赫兹 |
1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
2 Hz时的隔振 | 90% |
≥3 Hz时的隔振 | 90 - 98% |
内部噪音 | <0.1 纳米 RMSd> |
工作负载范围 | 标准承重能力:900 - 2,500磅(408 - 1134千克) 高承重能力:2,500 - 3,200磅(1134 - 1452千克) |
磁场发射 4英寸(102毫米)处 距离平台 | <0.02 μG 宽带 RMSd> |
环境和安全 | 符合CE和RoHS标准 |
主动隔振元件 | 最小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。 垂直执行器支撑隔振的有效载荷 |
被动隔振元件 | 单个硬弹性体(无需压缩空气源) |
振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器,用于 测量隔振器下方的地面振动,并 提供与振动运动速度成正比的电压 |
主动反馈控制回路 | 在支撑隔振表面的弹簧 下方测量、处理和 支撑隔离面 |
尺寸(宽 x 深) | 35.25 x 44.25英寸 895 x 1124毫米 |
高度 | 标称6.3英寸(160毫米), SEM-Base关闭时不会改变 |
工作温度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
储存温度 | -40° - 130° 华氏度 -40° - 55° C |
湿度 | 20 时为 80%或C,最大露点:18或C |
系统电源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC;<600 W 符合CE标准 |
地面位移 | <800 微英寸。(20 μm) 低于 10 Hzd> |
处理器 | 150/75 MHz双核 |
采样率 | 10 kHz |
模拟输出 | 16个通道 |
模拟输入 | 16个通道 |
状态灯 | 单个LED |
前面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个串行Micro-USB 1个以太网RJ-45 2个BNC |
用户界面 | 前面板液晶显示屏 超级终端上的字符菜单 适用于Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式以太网GUI |
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